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"激战厨房2",快科技3月5日消息，Intel发布了一条特殊的开箱视频，堪称史上最贵：他们从ASML拿到的全球第一台高NAEUV光刻机，已经开始在美国俄勒冈州希尔斯伯勒附近的工厂内安装了。这台型号为TwinscanEXE:5000的光刻机着实是个庞然大物，运输过程中动用了250个货箱，总重约150吨，先用飞机从荷兰运到俄勒冈州波特兰，再用卡车分批次拉到工厂。目前安装的还只是核心组件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程师，耗时约6个月，然后还得花时间调试。这台光刻机主要作为研究之用，将会在Intel18A节点上进行测试，但大规模量产得等到刚刚宣布的Intel14A节点上，时间预计2025-2026年左右。该光刻机可以实现8nm的分辨率，而现有低NA光刻机单次曝光只能做到13nm，同时晶体管密度几乎可以增加3倍。大家非常关心的价格上，ASML的说法是大约3.8亿美元，但这只是起步价，更高配置自然更贵，IntelCEO帕特·基辛格透露在4亿美元左右，也就是逼近29亿元。相比之下，低NAEUV光刻机约为1.83亿美元。除了Intel，三星、台积电、SK海力士也都订购了高NAEUV光刻机，首批订单有数十台。【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技责任编辑：上方文Q

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作者：赫连丰羽

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